大理石气浮平台的特点主要体现在以下几个方面:1. 无摩擦与无振动基本原理:大理石气浮平台基于空气轴承的基本原理,通过气体(如压缩空气)在平台与支撑面之间形成一层气体垫层,实现无摩擦和无振动的平滑移动。这种设计大大减少了传统机械运动中的摩擦和振动,提高了运动精度和稳定性。2. 高精度高精度表现:大理石气浮平台具有极高的运动精度和导向精度。其分辨率可达纳米级(如某些型号可达1纳米),重复定位精度优于0.5微米,直线度/平面度优于1微米。这种高精度特性使得大理石气浮平台在高分辨率晶圆切割、光学检测、激光加工等领域具有广泛应用。3. 稳定性与耐久性材质优势:大理石平台具有高稳定性,其材质坚硬、组织缜密,不易变形。在常温下,大理石气浮平台能保证测量精度,且长期使用下依然能保持较高的稳定性和精度。耐磨与防腐:大理石平台还具有不生锈、耐酸碱等特性,无需特殊保养,使用寿命长。其工作表面的划痕、碰伤等不影响测量精度,为长期使用提供了可靠保障。
以上信息由专业从事气浮平台公司的星纳特于2024/12/17 19:14:30发布
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