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分子泵的叶轮是高速旋转的精密件,在分子泵运转中,不允许固体杂物落到叶轮上,以避免损坏叶轮。也要防止大气突然冲入正在运转中的分子泵。因为这也有可能损坏叶轮,此外,分子泵运转过程中,要远离强磁场。结论改变氦质谱检漏仪的分子泵转速,检测信号值发生变化,仪器在运行时,分子泵转速改变后,只要改变漏率信号的修正系数,无需再次定标,即可保证检测漏率的准确性。
若仪器检测信号时,信号值偏小,可以考虑降低仪器的分子泵转速,来提高检测信号值,提高仪器的检测灵敏度。:涡轮分子泵应用于角分辨光电子能谱ARPES涡轮分子泵应用于角分辨光电子能谱ARPES。角分辨光电子能谱Angleresolvedphotoemissipectroscopy简称ARPES利用光电效应研究固体的电子结构.
光电子在真空飞行的过程中,被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.角分辨光电子能谱主要由光源,电子分析器,样品控制台以及超高真空的获得和维护系统组成.分子泵广泛配套在真空系统已保证超高真空的获得,同时搭配残余气体分析仪PrismaPlus共同使用.
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近日,真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型涡轮分子泵,同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的
高度可靠的新型涡轮分子泵:安全、耐用、抗老化、体积小巧
分子泵的另一性能指标是,压缩比,所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比,压缩比与转速及分子量的关系是:
Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比较大。氦质谱检漏仪中,逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比,而且,还通过降低叶轮转速,降低对He压缩比,从而提高对氦气的响应灵敏度。
分子泵的叶轮是高速旋转的精密件,在分子泵运转中,不允许固体杂物落到叶轮上,以避免损坏叶轮。也要防止大气突然冲入正在运转中的分子泵。因为这也有可能损坏叶轮,此外,分子泵运转过程中,要远离强磁场。结论改变氦质谱检漏仪的分子泵转速,检测信号值发生变化,仪器在运行时,分子泵转速改变后,只要改变漏率信号的修正系数,无需再次定标,即可保证检测漏率的准确性。
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在润滑方面,配备一种新型润滑剂,具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性,进一步提升真空泵组的安全性能,而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线,客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.
涡轮分子泵1500U技术参数
压缩比
Ar:>1X108
H2:6X103
He:2X105
N2:>1X108
抽速
Ar:1350l/s
H2:1150l/s
He:1350l/s
N2:1400l/s
进气口
DN250-ISO-K
极限真空重量
29KG
涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200,通讯接口RS-485,远程遥控(Profibus/DeviceNet型号供选择),多种配件供客户选择.
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半导体产业链IC制造行业属于典型的技术密集型行业,产品技术含量非常高,同时对配套产业要求较高,其中就包括真空设备配套产业。真空设备(真空阀、真空泵、真空腔体及管道等)是半导体各工艺制程环节必备的通用设备,广泛应用于芯片生产制造过程。 半导体制造设备及工艺流程半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。
这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵在半导体设备中的应用.在半导体生产制造工艺中,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。光刻机光刻机是生产大规模集成电路的设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握,因此光刻机价格昂贵。
光刻机光刻过程必须在高真空环境中实现,原因是极紫外光很娇贵,在空气中容易损耗。同时,在光刻过程中,设备的动作时间误差以皮秒计,这对磁悬浮分子泵的振动值要求极高。(注:皮秒=兆分之一秒)薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜,这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成,是使用多种工艺生长或沉积的。
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以上信息由专业从事爱发科真空泵保养费用的潽拓光电于2024/4/30 11:13:59发布
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