真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律，通常采用以下两类典型的维修方式。
1、事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。
2、预防维修
预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，以及因发生故障所造成的经济损失日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。
我们这里提到的真空泵维修是指真空泵腐蚀的维修。真空泵维修的方法之一就是在真空泵表层涂上有机涂层，该方法非常有效。
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iGX 干泵真空系统
iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了世界上受欢迎的干泵之一，目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套的网络选项， 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 iL/iH 干泵相比）。
基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在效率点运转，才能获得da的节能效果。
真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C 。
如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。
真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
真空泵在工作第yi个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常。
定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
Edwards Drystar 80 干式真空泵易于安装和试运转，同时洁净、坚固、高，足以取代传统的油封泵。 GV80可处理大容量可冷凝蒸汽和颗粒负载，提供稳定的泵送性能、的维修干预和低运行成本。 Drystar 80 使用干泵技术，具备的密封设计，可消除真空制程中的污染，因此适合各种应用和环境。 Edwards真空泵 工业干泵 GV80 爪式真空泵 爱德华工业干泵 干式真空泵
概述
Edwards 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。
我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。
Drystar 泵可以与 Edwards EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
以上信息由专业从事E2M80真空泵维修工厂的东欧真空于2024/4/19 12:07:37发布
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