真空镀膜设备由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的,例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。这样,零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外,污染物在大气压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体也要被释放出来,构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此,零件组装前必须清除掉污染物。
真空镀膜机镀膜过程中,都要应用到电源,镀的基材不同,工艺不一样,设备配置也不一样,采用的电源,也就不一样。在实际镀膜过程中,该电源要能自动检测灭弧现象并自动引弧,保证镀膜过程中的连续性和膜层的均匀性;此外,电弧电源的稳弧性能尤其是小稳弧电流对膜层的一致性、效率性和光洁度影响很大。操作轻便,电流调节精度较高,稳流性能好,有利于控制膜厚及保证膜厚的重复性。真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。真空镀膜机表面涂层材料具有很高的耐磨性和硬度,且耐高温。和未涂层的刀具比,涂层刀具允许采用较高的切削速度,提高了切削加工效率,也提高了在相同的切削速度下刀具的寿命。
电子真空镀膜设备
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真空镀膜机如何选型选用真空泵时,需要注意下列事项:
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
如:真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度, 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空镀膜机对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大,对真空泵的抽真空能力要求就越高,通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
以上信息由专业从事电子真空镀膜设备的拉奇纳米镀膜于2022/1/28 10:29:36发布
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