显影工艺是怎样?
前工站加工的玻璃进入显影设备,对需要去除的油墨进行化学反应,进行剥离,然后进行表面清洗,形成高精度的油墨3D盖板。显影操作需控制好显影液的温度、传送速度、喷淋压力等参数。
该加工方法主要应用于芯片制造过程中的多个步骤中,如制造晶体管、金属线、电容、电阻等元件。通过它可以在芯片上制造出不同的图案,从而实现各种电子器件的功能。曝光显影加工是半导体工业中非常重要的一部分。3D玻璃显影曝光技术在HW mateRs用到了此技术,该后盖3D玻璃8曲面,弧面曲率大,
设计八曲面玻璃主要是为了满足如下两点需求:
1:为压缩整机厚度,后盖弧度大可增加架构空间,另未来5G的发展,器件增加,空间需加大;
显影液去除并且清洗(rinse):达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。
以上信息由专业从事音箱曝光显影加工厂商的利成感光于2024/3/27 9:49:04发布
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